目标我们这颗星球上能实现量产的也就是5纳米的罢了!
小芳继续说道:“arf准分子激光被激光发射器发射出来之后,光束有些偏差,这个时候必须经过光束矫正器进行矫正,你们星球上一般需要3个光束矫正器才能矫正出来自己需要的,而我在你们技术上经过改良优化,现在仅仅需要两个光束矫正器就可以了。”这里小芳有些得意,好像自己进行了降维打击。
“还有,被矫正的光束能量还需要控制,这时候就需要能量控制器了,我们可以依靠能量控制器,控制光束之中的能量大小,我们想要大就要大,想要小就要小,完全在我们的掌控之中呢!”
“能量大小被我们控制了之后,我们还要控制光束的形状!这时候就需要光束成型装置了。”
小芳耐心地给王昊天解释着,还把光刻机打开,一边讲解着,一边给王昊天指出来仪器所在的具体位置:“光束成型装置里边又包括着光束形状设置以及遮光器。已经确定形状和能量大小的光束在出了形状成型装置之后,还要经过一次能量检测器检查一次!”
“紧接着光束就会以圆柱形状照射在光掩膜台上,光掩膜台上放着由芯片设计公司做好的光掩膜!”
“在光掩膜台上和曝光台之间还会有一个凸透镜!”
“光束透过掩膜上的空隙,再经过凸透镜折射到曝光台!在曝光台上会放着已经涂好光刻胶的硅晶圆片!”
“我这么简单地说了一下你能听明白吗?”小芳微笑着看了一眼王昊天。
王昊天点了点头:“原理我还是能听明白的。”
很诚实!
说到这里,王昊天笑了笑:“不过要真的做出来,我还得靠你了。”说这一句话王昊天也不觉得丢人,在他的理念里小芳能做出来的东西就是他的东西,大家不用分的这么清楚。
“依靠你我是有些投机取巧了。”王昊天不得不承认,他对于光刻机仅仅停留在理论方面,至于实干,那是一窍不通!
好在小芳制造这台45纳米的光刻机用的都是我们星球上可以理解的技术,根本就没有超纲!
而且技术也不算很高,王昊天可以卖给国内有需要的企业甚至……国家!
他们有真正的专家,如果有了45纳米的光刻机之后,肯定可以迅速地吃透里边的技术,曾经外国就疯狂叫嚣,瞧不起我们。