在白云天的亲自指导监督下,有李莲、华新等人直接领导,光刻机的制造进度快得惊人,透镜、工作台子系统、光源等最大的技术难点,一一被轻松攻克。
经过两个月的技术攻关——其实就是逐步熟悉制造工艺,一台双工位,最大晶元刻蚀尺寸为200的光刻机就顺利建造完成,顺利得让所有参与制造的技术人员感觉如在做梦。
“这就做好了?”
当最后一块挡板合上,螺丝拧紧,对光刻机通电系统测试通过,白云天宣布光刻机研发成功,其他人还是不敢相信这个事实,不由窃窃私语。
连下料到解决一个个技术问题,制作出子系统,再到总装,两个月就做出一台这时代最先进的光刻机……
这可能吗?
就算国内光刻机厂家,有现成图纸、熟练工,做一台出来也不止这点时间吧。
“行不行咱们试试不就知道了。”白云天看着众人表情,笑了笑没有解释。
有他带着一种接受了高端制造技术知识注入的新人亲自参与,两个月制造一台光刻机算什么。
要不是没有专用机床设备,哪要得了两个月!
像专门制造光刻机的asl,一年就要卖几十上百台光刻机出去。
两月一台?
这么慢的生产速度,早就破产倒闭了!
光刻掩膜板早就做好了,这是白云天、李莲亲自动手做的,达到了钢铁城当前技术极限。
掩膜并非只有一个,而是一套。
光刻是个工序多达上百道的漫长加工过程,一道工序,可能就只有极微小的改变。逐步刻蚀掉需要加工部位的光刻胶,然后通过沉积、离子注入等方式,在硅晶元基片上生成所需的元器件、连线等不同部件。
因此整个过程是支离破碎的,每一次光刻都只针对一道工序,经由数百道工序之后,才会制造出一个包含了所有晶体管、电阻、电容等各种元器件的裸晶片。