光刻机的研发非常非常难!
难到什么程度,难到原本七八十年代还有美国、欧洲、日本等好几个国家都在从事光刻机研发制造的企业。到了九十年代末,只有美国和欧洲还继续走在这条路上,日本已经渐渐力不从心,不得不退出了光刻机研发竞争。
由于金融资本占据绝对上风,目前全球产业链思想越发盛行,大量高精尖制造产业向低收入国家和地区转移,如今在美国,就连英特尔、德州仪器这样的巨头,也感到越来越难以支撑了。
白云天知道,未来顶尖的光刻机生厂商,将会进一步淘汰,最终只有荷兰的asl还能继续存活。
若是没有《制造史回顾》为后盾,他也没有勇气冒着巨大风险,贸然涉足这个行业。
但现在就不同了。
白云天戴着护目镜,站在观察口,望着充满了氩气的真空冶炼炉外,观察着一汪呈现液态的熔融物,对比仪器上的显示数据,满意地点了点头。
他正在看的,是实验室内制备的高纯度玻璃。
光刻机就是用高能光束,对光刻胶进行蚀刻的设备,为了保证刻蚀宽度足够细,因此光束也必须非常集中,达到纳米级才能充分聚焦。
光束本身不可能这么细,要想达到需要的直径,就只能通过透镜对其进行聚焦。
众所周知,玻璃看似透明,但内部其实有很多杂质。
如果是用普通的玻璃制作成透镜,对光束进行聚焦,就会因为内部的各种杂质,导致光束被分散、偏移,导致聚焦不准。
为了保证聚焦成功,只能放宽光束直径。
这就是早期光刻机的光刻宽度有限的根本原因,而提升光刻机的刻蚀精度,就是要想方设法,约束光束的聚焦范围,范围越小,精度就越高。
要保证聚焦范围,一方面是研发波长更短的高能激光,一方面就是提升透镜的透光度。
两者缺一不可。